組合型ICP光柵光譜儀

組合型ICP光柵光譜儀種類繁多，有多通道型與單一掃描型的光譜儀組合型的光譜儀（稱N＋1型）。有多通道型與掃描型的光譜儀組合型的光譜儀（N＋M型），見圖1。 

圖1 組合型N＋M光譜儀

這種ICP光柵光譜儀，采用一個(gè)ICP光源，一套進(jìn)樣系統(tǒng)，雙邊通過兩臺(tái)分光器進(jìn)行分光檢測(cè)。一邊進(jìn)入多通道光譜儀，達(dá)到快速、穩(wěn)定檢測(cè)。另一邊進(jìn)入掃描型光譜儀，達(dá)到分析靈活、抗光譜干擾能力強(qiáng)、準(zhǔn)確測(cè)定目的。 

組合型光譜儀的特點(diǎn)

可滿足一些特殊工業(yè)廠礦的需要，例如N＋M組合光譜儀，它的多通道第一型部分可用于鋼鐵試樣的常規(guī)固定元素測(cè)定。而掃描型部分可以做新材質(zhì)檢測(cè)、工廠的環(huán)保檢測(cè)等，測(cè)定元素可變的研究工作測(cè)定。還有一種S＋S組合ICP光柵光譜儀，例如：ICPS-8100其分光器由兩個(gè)獨(dú)立色散系統(tǒng)組成，見圖2。第一分光器，焦距1000mm，波長(zhǎng)范圍160～372nm，大面積的光柵，刻劃條數(shù)4960gr/mm，分辨率為0.0045m/mm。真空型分光器是商品化儀器中分辨率很高的分光器。第二分光器，焦距1000mm，兩塊光柵：一塊光柵刻線條數(shù)4320gr/mm，分辨率為0.0055mm/mm，波長(zhǎng)范圍250～426nm；另一塊光柵，刻線條數(shù)1800gr/mm，分辨率為0.013nm，波長(zhǎng)范圍426～850nm。這兩個(gè)分光器可互為內(nèi)標(biāo)分光器。測(cè)定時(shí)，兩個(gè)分光器同時(shí)運(yùn)行。每個(gè)分光器分別由單獨(dú)的CPU控制掃描程序，進(jìn)行測(cè)量信息取數(shù)。將得到的信息輸送到另一臺(tái)CPU進(jìn)行處理。當(dāng)需測(cè)定高純的Ni、W、Cr、V、Ti、Mo、Nb、Ta、Zr、Hf及稀土金屬這些發(fā)射光譜多譜線的雜質(zhì)元素時(shí)，則需要分辨率極高掃描型與掃描型組合光譜儀，使其分析靈敏度達(dá)到所需要求。如果分析元素過多，為加快分析速度，也可另配置一臺(tái)小型的內(nèi)標(biāo)分光器。

圖2 高分辨率S+S掃描型光譜儀