Sonotec  SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計(jì)

SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計(jì)非常適合半導(dǎo)體行業(yè)中使用各種磨料、粘合劑、腐蝕性和高純度液體的一系列工藝。為了確保這些過程的穩(wěn)定性和高質(zhì)量，持續(xù)監(jiān)測硬塑料軟管和管道的流量非常重要。

這些傳感器配備集成電子單元，可作為完整的流量計(jì)，其尺寸與小型傳感器相同，無需外部電路板或測量傳感器。

產(chǎn)品優(yōu)勢

高精度非接觸式流量測量

創(chuàng)新的非接觸式夾緊機(jī)構(gòu)可防止污染和泄漏，從而延長正常運(yùn)行時(shí)間

在 PFA、PTFE 和其他硬塑料軟管和管道上的應(yīng)用

更換或改造傳感器時(shí)不會(huì)造成成本高昂的流程中斷

用于潛在爆炸區(qū)域的傳感器套件（ATEX / IECEx – Ex Zone 1）

支持所有常見工業(yè)接口

特征

用于半導(dǎo)體行業(yè)流量監(jiān)測的SEMIFLOW ® CO.65 傳感器

很好的測量性能

實(shí)時(shí)測量瞬時(shí)流量和體積計(jì)數(shù)

可靠的流量測量高達(dá) 400 l/min

精度為 +/- 2%

塑料外殼 (PVC-C) 和塑料對(duì)接連接器 (PA)

技術(shù)參數(shù)

測量周期：10ms

工作電壓：12 — 30VDC

最大能量消耗：30mA

環(huán)境溫度：0 — +90°C

SEMIFLOW CO.65 超聲波夾式流量計(jì)應(yīng)用領(lǐng)域

晶圓清洗系統(tǒng)

光刻系統(tǒng)

攪拌站

化學(xué)品供應(yīng)系統(tǒng)

漿料線

Sonotec  SEMIFLOW CO.65超聲波夾式流量計(jì)